XRF、EDX、EDS，作為最常見的元素分析儀器，它們之間有什么區(qū)別呢？

　　1、定義

　　XRF指的是X射線熒光光譜儀；

　　EDX指的是能量散射型X射線熒光光譜儀，也有人叫EDXRF；

　　EDS是能譜儀。

　　2、應(yīng)用

　　1）XRF的應(yīng)用

　　 a) X射線用于元素分析，是一種新的分析技術(shù)，但在經(jīng)過二十多年的探索以后，現(xiàn)在已成熟，已成為一種廣泛應(yīng)用于冶金、地質(zhì)、有色、建材、商檢、環(huán)保、衛(wèi)生等各個(gè)領(lǐng)域。

　　 b) 每個(gè)元素的特征X射線的強(qiáng)度除與激發(fā)源的能量和強(qiáng)度有關(guān)外，還與這種元素在樣品中的含量。

　　 c) 根據(jù)各元素的特征X射線的強(qiáng)度，也可以獲得各元素的含量信息。這就是X射線熒光分析的基本原理。

　　優(yōu)點(diǎn):

　　 a) 分析速度高。測定用時(shí)與測定精密度有關(guān)，但一般都很短，2～5分鐘就可以測完樣品中的全部待測元素。

　　 b) X射線熒光光譜跟樣品的化學(xué)結(jié)合狀態(tài)無關(guān)，而且跟固體、粉末、液體及晶質(zhì)、非晶質(zhì)等物質(zhì)的狀態(tài)也基本上沒有關(guān)系。（氣體密封在容器內(nèi)也可分析）但是在高分辨率的精密測定中卻可看到有波長變化等現(xiàn)象。特別是在超軟X射線范圍內(nèi)，這種效應(yīng)更為顯著。波長變化用于化學(xué)位的測定。

　　 c) 非破壞分析。在測定中不會(huì)引起化學(xué)狀態(tài)的改變，也不會(huì)出現(xiàn)試樣飛散現(xiàn)象。同一試樣可反復(fù)多次測量，結(jié)果重現(xiàn)性好。

　　 d) X射線熒光分析是一種物理分析方法，所以對(duì)在化學(xué)性質(zhì)上屬同一族的元素也能進(jìn)行分析。

　　 e) 分析精密度高。

　　 f) 制樣簡單，固體、粉末、液體樣品等都可以進(jìn)行分析。

　　缺點(diǎn)：

　　 a）難于作絕對(duì)分析，故定量分析需要標(biāo)樣。

　　 b）對(duì)輕元素的靈敏度要低一些。

　　 c）容易受相互元素干擾和疊加峰影響。

　　其實(shí)是一樣的，但是美國人一般叫EDS，英國人一般叫EDX，國內(nèi)叫EDS的多。

　　2）EDX也是屬于XRF的能量色散型，還有種WDX波長色散型，不過現(xiàn)在市面上多是EDX。

　　XRF用的物理原理，通過X射線穿透原子內(nèi)部電子，由外層電子補(bǔ)給產(chǎn)生的能量差來判斷屬于何種元素。所以它只能測元素而不能測化合物。

　　ICP則需要對(duì)樣品進(jìn)行溶解，采用的是化學(xué)方法，測試的是樣品的溶液，它的精確度和準(zhǔn)確度當(dāng)然比XRF要高了。

　　WDXRF的X射線熒光出來后通過分光晶體分光，通過不同的波長逐一檢測。

　　EDXRFX射線熒光出來后直接被檢測器收集，通過數(shù)模轉(zhuǎn)換得到結(jié)果。EDXRF體積小，價(jià)格相對(duì)較低，檢測速度比較快，但分辨率沒有WDXRF好。

天瑞EDX1800B能量色散X熒光光譜儀

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